Які існують технології вирощування світлодіодних епітаксіальних пластин?

1. Рідкофазний епітаксіальний метод росту:в основному використовується для технології епітаксії на червоних і зелених світлодіодах

2. Метод газофазного епітаксійного росту:в основному використовується для епітаксійних технологій жовтих і помаранчевих світлодіодів, таких як зростання матеріалу з арсеніду галію і фосфору (GaAsP).

3. двоетапний процес зростання:поточне промислове виробництво широко використовуваних процесів, але існують проблеми однорідності епітаксійної пластини, тенденція розвитку включає збільшення навантаження та високий ступінь автоматизації однокристального обладнання

4. Технологія епітаксійної пластини (HVPE) на основі пароподібної гідридної фази:може швидко вирощувати товсті плівки з низькою щільністю бітових помилок, але важко точно контролювати товщину плівки та є корозійним для обладнання.

5. Технологія селективного епітаксійного росту пластини або бокового епітаксійного росту пластини:за допомогою технології фотолітографії та травлення для формування шару маски, щоб ще більше зменшити щільність бітових помилок і покращити якість кристала.